Vergabeverfahren zur Lieferung einer Atomlagenabscheidungsanlage (ALD)

Angebotsfrist

30. Nov 2026, 10:00

Geschätzter Wert

Nicht angegeben

CPV-Code

31640000

NUTS-Region

DE125

Zweck

Vergabeverfahren zur Lieferung einer Atomlagenabscheidungsanlage (ALD)

Verfahren

#Bekanntmachungs-ID: CXR6YYVY49S# Bieterfragen innerhalb der Angebotsfrist (Informationspflicht) Damit sichergestellt ist, dass erbetene zusätzliche Informationen allen Interessenten noch rechtzeitig zur Verfügung gestellt werden können, müssen Bieterfragen spätestens innerhalb der oben unter Abschnitt "Fristen des Vergabeverfahrens" angegebenen Frist über den Projektraum des "Vergabemarktplatzes Baden-Württemberg" (VMP) in der Rubrik: Kommunikation eingereicht werden. Für die komplette Kommunikation zwischen Bietern und der Vergabestelle wird auf den Bereich "Kommunikation" im Projektraum des Vergabemarktplatzes Baden-Württemberg verwiesen; insbesondere werden an dieser Stelle Bieterfragen und deren Beantwortung durch die Vergabestelle veröffentlicht. Die Beantwortung der eingegangenen Bieterfragen und Informationen der Vergabestelle erfolgen über den Vergabemarktplatz Baden-Württemberg; siehe hierzu Abschnitt "Kommunikation". Die Bieter sind verpflichtet, sich regemäßig bis zum Ende der Angebotsfrist selbst über etwaige zusätzliche Informationen oder Änderungen zu informieren (Holschuld des Bieters). Die für dieses Vergabeverfahren freigeschalteten und somit registrierten Bieter werden automatisch über neue Informationen oder Änderungen durch die Vergabestelle informiert. Die Verwendung "veralteter" Vergabeunterlagen kann zum Ausschluss führen.

Lose 1 Los

Los 1

Vergabeverfahren zur Lieferung einer Atomlagenabscheidungsanlage (ALD)

Ausgeschrieben wird die Lieferung und betriebsfertige Übergabe inkl. Funktionstest, Einweisung und Abnahme eines Systems für sowohl thermische als auch plasma-gestützte Atomlagenabscheidung (ALD) von hochpräzisen Dünnfilmen auf dreidimensional vorstrukturierten und planaren Substraten mit kontrollierten Schichtdicken im Nanometer Bereich. Das geplante System soll die Abscheidung supraleitender Filme höchster Güte, insbesondere Niobiumnitrit, dielektrische Dünnfilme sowie magnetische Materialien und High-k-Dielektrika ermöglichen. Dazu soll das Gerät mit präziser in-situ Schichtdicken-überwachung ausgestattet sein um optimale Prozesskontrolle zu ermöglichen. Die angebotene Leistung umfasst folgende Positionen: - Angebot und Lieferung eines Neugerätes bzw. Neuware - Fristgerechte Lieferung "Frei Bordsteinkante inkl. Abladen" - Funktionstest bzw. Demonstration sowie Einweisung und Inbetriebnahme. - Abnahme des Gerätes beim Kunden vor Ort - Schulung vor Ort (3 Tage á 8 Stunden) für 2 Mitarbeiter der Universität Heidelberg. Aufgrund der Vorgaben des Bewilligungsverfahrens für Großgeräte sind die maximal zur Verfügung stehenden Finanzmittel begrenzt und enden bei 1.039.000,- EUR (einschließlich Mehrwertsteuer oder vergleichbar, Zölle und etwaigen Skonti). Angebote, die diesen Grenzwert überschreiten, können nicht berücksichtigt werden. Kalkulatorisch anzugebende Mehrwertsteuer und Zölle sind Bestandteil des Grenzwerts.

CPV-Code: 31640000
Angebotsfrist: 30. Nov 2026, 10:00

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Eignungskriterien 3 Einträge

Eintragung in ein Handelsregister

Eintragung in einem Handelsregister Der Wirtschaftsteilnehmer ist in den einschlägigen Handelsregistern seines Niederlassungsmitgliedstaats verzeichnet;

Losbezug: LOT-0001

Sonstige wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen

Andere wirtschaftliche und finanzielle Anforderungen Der Wirtschaftsteilnehmer hat eine Haftpflichtversicherung in angemessener Höhe, mindestens aber mit einer Deckungssumme von: - 2.500.000 EUR für Personenschäden - 1.000.000 EUR für Sach- und Vermögensschäden pro Schadensfall abgeschlossen. Die Gesamtleistung für alle Versicherungsfälle eines Versicherungsjahres beträgt das 2-fache der vereinbarten Versicherungssumme.

Losbezug: LOT-0001

Referenzen über vergleichbare Lieferungen

Nur bei öffentlichen Lieferaufträgen: Ausführung von Lieferungen der genannten Art Im Bezugszeitraum hat der Wirtschaftsteilnehmer die mind. zwei folgenden wesentlichen Lieferungen der genannten Art ausgeführt. (Anzugebender Zeitraum: 2021-2026). ------------------------------- Als Unterauftrag vergebener Anteil Der Wirtschaftsteilnehmer beabsichtigt, unter Umständen folgenden Teil (Prozentsatz) des Auftrags als Unterauftrag zu vergeben:

Losbezug: LOT-0001

Zuschlagskriterien 1 Eintrag

Qualität

100 %

Bewertung nach der UfAB-Methode: Der Zuschlag wird gemäß § 127 des Gesetzes gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) auf das wirtschaftlichste Angebot erteilt. Im vorliegenden Fall erfolgt die Bewertung der Wirtschaftlichkeit auf Grundlage des Leistungs-Preis-Verhältnisses unter Anwendung der "Erweiterten Richtwertmethode" gemäß UfAB 2018.04 (Stand: April 2018). Das wirtschaftlichste Angebot wird dabei anhand folgender Formel ermittelt: Z(Angebot) = L / P = Leistungspunktzahl / Gesamtwertungspreis

Losbezug: LOT-0001

Ausschlussgründe 21 Einträge