EA Reactive Ion Etcher (RIE)

Voor het bestuderen van geïntegreerde schakelingen is het nodig om hele dunne lagen in chips selectief te kunnen verwijderen. Dat kan met een zogenaamde RIE-opstelling. De scope van de aanbesteding is: -Aflevering van een compacte RIE-opstelling. De RIE-opstelling heeft ongeveer een koelkastformaat. Onder Aflevering valt ook het uitvoeren van (acceptatie)testen, het geven van een instructie aan NFI-medewerkers, verstrekken van een user manual, onderhoudshandleiding, technische documentatie en al het andere dat nodig is in het kader van het bedrijfsklaar opleveren van de RIE-opstelling en de implementatie daarvan. Het een en ander zoals gespecificeerd in de Aanbestedingsdocumenten, en in het bijzonder het Programma van Eisen; -Garantie van 1 jaar is van toepassing op de gehele RIE-opstelling, ingaande na Acceptatie van de RIE-opstelling. In het Programma van Eisen staat wat aanvullend op artikel 4 van de ARIV-2026 bij de garantie moet zijn inbegrepen. -Onderdelen die tijdens de levensduur vervangen dienen te worden. In het Programma van Eisen staat o.a. dat alle onderdelen in een separate bijlage aangeboden dienen te worden.

CPV-Code

38000000

Angebotsfrist

21. Dez 2026, 11:00

Geschätzter Wert

325.000 EUR

De gunningsmethodiek van deze aanbesteding is op basis van laagste prijs. Door de hoge mate van detaillering in de specificatiefase en de vereiste conformiteit, is de beoogde kwaliteit van het product vooraf al volledig gewaarborgd. Voor de aanschaf van de RIE-opstelling is daarom besloten om de Opdracht te gunnen op basis van de laagste prijs. Hierbij geldt uiteraard als harde voorwaarde dat de inschrijving volledig voldoet aan het vastgestelde Programma van Eisen. Uit de voorafgaande marktconforme consultatie is gebleken dat er binnen het beschikbare budget meerdere leveranciers (3-4) in de markt zijn die in staat zijn een RIE-opstelling te leveren die voldoet aan de gestelde technische en functionele eisen. Omdat de minimale kwaliteit een groot onderdeel is van het PvE behoeft deze niet nogmaals als separaat gunningscriteria uitgevraagd te worden. Daarnaast is gebleken uit de marktconsulatie dat er voldoende concurrentie aanwezig is om een prijsgerichte aanbesteding mogelijk te maken. Doordat de kwaliteit, functionaliteit en prestaties van het te leveren apparaat vooraf volledig worden geborgd in het PvE, zijn de kwaliteitsverschillen tussen de resterende inschrijvers verwaarloosbaar klein. Het toepassen van aanvullende kwalitatieve gunningscriteria (Beste Prijs-Kwaliteitverhouding - BPKV) zou hierdoor leiden tot een kunstmatige prijs-kwaliteitvergelijking. De rangschikking bij een BPKV-systematiek zou immers alsnog feitelijk op prijs worden beslist, of door marginale kwaliteitsverschillen die voor de Aanbestedende dienst niet relevant zijn. Om die reden biedt een gunning op basis van de laagste prijs in deze procedure de meest transparante, objectieve en proportionele wijze om de economisch meest voordelige inschrijving te selecteren. Aan deze inschrijver zal de opdracht worden gegund.

Losbezug: LOT-0000